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2026
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Hiden Analytical社QGAを導入しました　～大気圧下の微量ガスをリアルタイムで分析～

弊社は、このたびHiden Analytical社製の大気圧ガス分析装置「QGA（Quantitative GasAnalyzer）」を導入いたしました。

QGAは四重極質量分析計（QMS）をベースとした高性能ガス分析システムであり、大気圧環境下の多成分ガスをリアルタイムに測定・定量できることが大きな特長です。

試料ガスは微細キャピラリーを介して真空系へ導入され、差動排気機構によって質量分析に必要な高真空環境が維持されます。導入されたガスは電子衝撃イオン化（EI）によりイオン化され、四重極マスフィルターによって質量電荷比（m/z）ごとに分離・検出されます。この方式により、水素、窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素などの主要成分から微量不純物まで、高感度かつ高速に分析することが可能です。

また、QGAは秒オーダーの応答性を有し、ガス濃度の時間変化を連続的に追跡できます。そのため、半導体プロセスガスのモニタリング、触媒反応評価、水素・燃料電池関連研究、各種材料開発における反応解析など、幅広い分野で活用されています。

UHPでは、本装置の導入により超高純度ガス中の微量不純物評価やプロセス監視能力をさらに強化し，お客様の研究開発および製造プロセスの高度化に貢献してまいります。また，研究開発の効率化と品質向上にも活用します。

今後も研究開発環境の充実を図り、お客様へより高品質な技術・サービスをご提供できるよう努めてまいります。

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